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透射电子显微镜(透射电镜、TEM)百科

透射电子显微镜(透射电镜、TEM)
发展历史 最开始的研究 恩斯特·阿贝最开始指出,对物体细节的分辨率受到用于成像的光波波长的限制,因此使用光学显微镜仅能对微米级的结构进行放大观察。通过使用由奥古斯特·柯勒和莫里茨·冯·罗尔研制的紫外光显微镜,可以将极限分辨率提升约一倍。然而,由于常用的玻璃会吸收紫外线,这种方法需要更昂贵的石英光学元件。当时人们认为由于光学波长的限制,无法得到亚微米分辨率的图像。 1858年,尤利乌斯·普吕克认识到可以通过使用磁场来使阴极射线弯曲。这个效应早在1897年就由曾经被费迪南德·布劳恩用来...   详细内容>>

发展历史


最开始的研究

恩斯特·阿贝最开始指出,对物体细节的分辨率受到用于成像的光波波长的限制,因此使用光学显微镜仅能对微米级的结构进行放大观察。通过使用由奥古斯特·柯勒和莫里茨·冯·罗尔研制的紫外光显微镜,可以将极限分辨率提升约一倍。然而,由于常用的玻璃会吸收紫外线,这种方法需要更昂贵的石英光学元件。当时人们认为由于光学波长的限制,无法得到亚微米分辨率的图像。

1858年,尤利乌斯·普吕克认识到可以通过使用磁场来使阴极射线弯曲。这个效应早在1897年就由曾经被费迪南德·布劳恩用来制造一种被称为阴极射线示波器的测量设备,而实际上早在1891年,里克就认识到使用磁场可以使阴极射线聚焦。后来,汉斯·布斯在1926年发表了他的工作,证明了制镜者方程在适当的条件下可以用于电子射线。

1928年,柏林科技大学的高电压技术教授阿道夫·马蒂亚斯让马克斯·克诺尔来领导一个研究小组来改进阴极射线示波器。这个研究小组由几个博士生组成,这些博士生包括恩斯特·鲁斯卡和博多·冯·博里斯。这组研究人员考虑了透镜设计和示波器的列排列,试图通过这种方式来找到更好的示波器设计方案,同时研制可以用于产生低放大倍数(接近1:1)的电子光学原件。1931年,这个研究组成功的产生了在阳极光圈上放置的网格的电子放大图像。这个设备使用了两个磁透镜来达到更高的放大倍数,因此被称为第一台电子显微镜。在同一年,西门子公司的研究室主任莱因霍尔德·卢登堡提出了电子显微镜的静电透镜的专利。

分辨率改进

1927年,徳布罗意发表的论文中揭示了电子这种本认为是带有电荷的物质粒子的波动特性。TEM研究组直到1932年才知道了这篇论文,随后,他们迅速的意识到了电子波的波长比光波波长小了若干数量级,理论上允许人们观察原子尺度的物质。1931年,德国的克诺尔和鲁斯卡,用冷阴极放电电子源和三个电子透镜改装了一台高压示波器,并获得了放大十几倍的图象,证实了电子显微镜放大成像的可能性。1932年四月,鲁斯卡建议建造一种新的电子显微镜以直接观察插入显微镜的样品,而不是观察格点或者光圈的像。通过这个设备,人们成功的得到了铝片的衍射图像和正常图像,然而,其超过了光学显微镜的分辨率的特点仍然没有得到完全的证明。直到1933年,通过对棉纤维成像,才正式的证明了TEM的高分辨率。然而由于电子束会损害棉纤维,成像速度需要非常快。

1936年,西门子公司继续对电子显微镜进行研究,他们的研究目的使改进TEM的成像效果,尤其是对生物样品的成像。此时,电子显微镜已经由不同的研究组制造出来,如英国国家物理实验室制造的EM1设备。1939年,第一台商用的电子显微镜安装在了I. G Farben-Werke的物理系。由于西门子公司建立的新实验室在第二次世界大战中的一次空袭中被摧毁,同时两名研究人员丧生,电子显微镜的进一步研究工作被极大地阻碍。

进一步研究

第二次世界大战之后,鲁斯卡在西门子公司继续他的研究工作。在这里,他继续研究电子显微镜,生产了第一台能够放大十万倍的显微镜。这台显微镜的基本设计仍然在今天的现代显微镜中使用。第一次关于电子显微镜的国际会议于1942年在代尔夫特举行,参加者超过100人。随后的会议包括1950年的巴黎会议和1954年的伦敦会议。

随着TEM的发展,相应的扫描透射电子显微镜技术被重新研究,而在1970年芝加哥大学的阿尔伯特·克鲁发明了场发射枪,同时添加了高质量的物镜从而发明了现代的扫描透射电子显微镜。这种设计可以通过环形暗场成像技术来对原子成像。克鲁和他的同事发明了冷场电子发射源,同时建造了一台能够对很薄的碳衬底之上的重原子进行观察的扫描透射电子显微镜。

透射电镜的分类


大型透射电镜

大型透射电镜(conventional TEM)一般采用80-300kV电子束加速电压,不同型号对应不同的电子束加速电压,其分辨率与电子束加速电压相关,可达0.2-0.1nm,高端机型可实现原子级分辨。

低压透射电镜

低压小型透射电镜(Low-Voltage electron microscope, LVEM)采用的电子束加速电压(5kV)远低于大型透射电镜。较低的加速电压会增强电子束与样品的作用强度,从而使图像衬度、对比度提升,尤其适合高分子、生物等样品;同时,低压透射电镜对样品的损坏较小。

分辨率较大型电镜低,1-2nm。由于采用低电压,可以在一台设备上整合透射电镜、扫描电镜与扫描透射电镜

冷冻电镜

冷冻电镜(Cryo-microscopy)通常是在普通透射电镜上加装样品冷冻设备,将样品冷却到液氮温度(77K),用于观测蛋白、生物切片等对温度敏感的样品。通过对样品的冷冻,可以降低电子束对样品的损伤,减小样品的形变,从而得到更加真实的样品形貌。

仪器结构


TEM包含有若干元件,其中有一个用于传输电子束的真空系统,用于产生电子束的电子发射源,一系列的电磁透镜,以及静电盘。后两个器件允许操作者按照要求对电子束进行操作。此外,还需要一个设备将样品移入或移出电子束通路,以及在通路中移动。成像设备随后使用射出前述系统的的电子束成像。

一、电子束系统

电子束系统包括电子枪和聚光镜2个主要部件,它的功用主要在于向样品及成像系统提供亮度足够的光源,电子束流,对它的要求是输出的电子束波长单一稳定,亮度均匀一致,调整方便,像散小。

1.电子枪(electronic gun)

由阴极(cathode)、阳极(anode)和栅极(grid)组成。

(1)阴极 阴极是产生自由电子的源头,一般有直热式和旁热式2种,旁热式阴极是将加热体和阴极分离,各自保持独立。在电镜中通常由加热灯丝(filament)兼做阴极称为直热式阴极,材料多用金属钨丝制成,其特点是成本低,但亮度低,寿命也较短。灯丝的直径约为0.10~0.12mm,当几安培的加热电流流过时,即可开始发射出自由电子,不过灯丝周围必须保持高度真空,否则就象漏气灯泡一样,加热的灯丝会在倾刻间被氧化烧毁。灯丝的形状最常采用的是发叉式,也有采用箭斧式或点状式的,后2种灯丝发光亮度高,光束尖细集中,适用于高分辨率电镜照片的拍摄,但使用寿命更短。

阴极灯丝被安装在高绝缘的陶瓷灯座上,既能绝缘、耐受几千度的高温,还可以方便更换。灯丝的加热电流值是连续可调的。

在一定的界限内,灯丝发射出来的自由电子量与加热电流强度成正比,但在超越这个界限后,电流继续加大,只能降低灯丝的使用寿命,却不能增大自由电子的发射量,我们把这个临界点称做灯丝饱和点,意即自由电子的发射量已达“满额”,无以复加。正常使用常把灯丝的加热电流调整设定在接近饱和而不到的位置上,称做“欠饱和点”。这样在保证能获得较大的自由电子发射量的情况下,可以最大限度地延长灯丝的使用寿命。钨制灯丝的正常使用寿命为40h左右,现代电 镜中有时使用新型材料六硼化镧(LaB6)来制作灯丝,其价格较贵,但发光效率高、亮度大(能提高一个数量级),并且使用寿命远较钨制灯丝长得多,可以达到1000h ,是一种很好的新型材料。

(2)阳极 为一中心有孔的金属圆筒,处在阴极下方,当阳极上加有 数十千伏或上百千伏的正高压加速电压时,将对阴极受热发射出来的自由电子产生强烈的引力作用,并使之从杂乱无章的状态变为有序的定向运动, 同时把自由电子加速到一定的运动速度(与加速电压有关,前面已经讨论过), 形成一股束流射向阳极靶面。凡在轴心运动的电子束流,将穿过阳极中心的圆孔射出电子枪外,成为照射样品的光源。

(3)栅极位于阴、阳极之间,靠近灯丝顶端,为形似帽状的金属物,中心亦有一小孔供电子束通过。栅极上加有0~1000V的负电压(对阴极而言),这个负电压称为栅偏压VG,它的高低不同,可由使用者根据需要调整,栅极偏压能使电子束产生向中心轴会聚的作用,同时对灯丝上自由电子的发射量也有一定的调控抑制作用。

(4)工作原理 在灯丝电源VF作用下,电流IF流过灯丝阴极,使之发热达2500℃以上时,便可产生自由电子并逸出灯丝表面。加速电压VA 使阳极表面聚集了密集的正电荷,形成了一个强大的正电场,在这个正电场的作用下自由电子便飞出了电子枪外。调整VF可使灯丝工作在欠饱和点,电镜使用过程中可根据对亮度的 需要调节栅偏压VG的大小来控制电子束流量的大小。
电镜中加速电压VA也是可调的,VA增大时,电子束的波长λ缩短,有利于电镜分辨力的提高。同时穿透能力增强,对样品的热损伤小,但此时会由于电子束与样品碰撞,导致弹性散射电子的散射角随之增大,成像反差会因此而有所下降,所以,在不追求高分辨率观察应用时,选择较低的加速电压反而可以获得较大的成像反差,尤其对于自身反差对比较小的生物样品,选用较低的加速电压有时是有利的。

还有一种新型的电子枪场发射式电子枪,由1个阴极和2个阳极构成,第1阳极上施加一稍低(相对第2阳极)的吸附电压,用以将阴极上面的自由电子吸引出来,而第2阳极上面的极高电压,将自由电子加速到很高的速度发射出电子束流。这需要超高电压和超高真空为工作条件,它工作时要求真空度达到10-7Pa,热损耗极小,使用寿命可达2000 h;电子束斑的光点更为尖细,直径可达到10nm以下,较钨丝阴极(大于10nm)缩小了3个数量级;由于发光效率高,它发出光斑的亮度能达到10 A/cm·s,较钨丝阴极(106 A/cm·s )也提高了3个数量级。场发射式电子枪因技术先进、造价昂贵,只应用于高档高分辨电镜当中。

二、聚光镜(condonser lens)

聚光镜处在电子枪的下方,一般由2~3级组成,从上至下依次称为第1、第2聚光镜(以C1 和C2表示)。关于电磁透镜的结构和工作原理已经在上一节中介绍,电镜中设置聚光镜的用途是将电子枪发射出来的电子束流会聚成亮度均匀且照射范围可调的光斑,投射在下面的样品上。C1和C2的结构相似,但极靴形状和工作电流不同,所以形成的磁场强度和用也不相同。C1为强磁场透镜,C2为弱磁场透镜,各级聚光镜组合在一起使用,可以调节照明束斑的直径大小,从而改变了照明亮度的强弱,在电镜操纵面板上一般都设有对应的调节旋扭。C1、C2的工作原理是通过改变聚光透镜线圈中的电流,来达到改变透镜所形成的磁场强度的变化,磁场强度的变化(亦即折射率发生变化)能使电子束的会聚点上下移动,在样品表面上电子束斑会聚得越小,能量越集中,亮度也越大;反之束斑发散,照射区域变大则亮度就减小。通过调整聚光镜电流来改变照明亮度的方法,实际上是一个间接的调整方法,亮度的最大值受到电子束流量的限制。如想更大程度上改变照明亮度,只有通调整前面提到的电子枪中的栅极偏压,才能从根本上改变电子束流的大小。在C2上通常 装配有活动光阑,用以改变光束照明的孔径角,一方面可以限制投射在样品表面的照明区域,使样品上无需观察的部分免受电子束的轰击损伤;另一方面也能减少散射电子等不利信号带来的影响。

三、成像系统

1.样品室(specimen room )

样品室处在聚光镜之下,内有载放样品的样品台。样品台必须能做水平面上X、Y方向的移动,以选择、移动观察视野,相对应地配备了2个操纵杆或者旋转手轮,这是一个精密的调节机构,每一个操纵杆旋转10圈时,样品台才能沿着某个方向移动3mm左右。现代高档电镜可配有由计算机控制的马达驱动的样品台,力求样品在移动时精确,固定时稳定;并能由计算机对样品做出标签式定位标记,以便使用者在需要做回顾性对照时依靠计算机定位查找,这是在手动选区操作中很难实现的。 生物医学样品在做透射电镜观察时,基本上都是将原始样品以环氧树脂包埋,然后用非常精密的超薄切片机切成薄片,刀具为特制的玻璃刀或者是钻石刀。切下的生物医学样品的厚度通常只有几十个纳米(nm),这在一般情况下用肉眼是不能直接看到的,必须让切片飘浮在水面上,由操作熟练的技术人员借助特殊的照明光线,并以特殊的角 度才能观察到如此薄的切片。切好的薄片被捞放在铜网上,经过染色和干燥后才能用于观察.透射电镜样品的制作是一个漫长、复杂而又精密的过程,技术性非常强。但是我们前面介绍过,要想获得优良的电镜影像,制做优良的样品标本乃是非常重要的第一步。

盛放样品的铜网根据需要可以是多种多样的,直径一般均为3mm ,通常铜网上有多少个栅格,我们就把它称作多少目。之所以选择铜制作样品网,是由于它不会与电子束及电磁场发生作用,同理还可以选择其他导磁率低的金属材料(如镍)制作样品网,样品网属于易耗品,铜网加工容易、成本低,故使用十分普及。

透射电镜常见的样品台有2种:①顶入式样品台,要求样品室空间大,一次可放入多个(常见为6个)样品网,样品网盛载杯呈环状排列。使用时可以依靠机械手装置进行依次交换。优点是每观察完多个样品后,才在更换样品时破坏一次样品室的真空,比较方便、省时间;但所需空间太大,致使样品距下面物镜的距离较远,不适于缩短物镜焦距,会影响电镜分辨力的提高。②侧插式样品台,样品台制成杆状,样品网载放在前端,只能盛放1~2个铜网。样品台的体积小,所占空间也小,可以设置在物镜内部的上半端,有利于电镜分辨率的提高。缺点是一次不能同时放入多个样品网,每次更换样品必须破坏一次样品室的真空,略嫌不便。

在性能较高的透射式电镜中,大多采用上述侧插式样品台,为的是最大限度地提高电镜的分辨能力。高档次的电镜可以配备多种式样的侧插式样品台,某些样品台通过金属联接能对样品网加热或者致冷,以适应不同的用途。样品是先盛载在铜网上,然后固定在样品台上的,样品台与样品握持杆合为一体,是一个非常精巧的部件。样品杆的中部有一个“O”形橡胶密封圈,胶圈表面涂有真空脂,以隔离样品室与镜体外部的真空(两端的气压差极大)。 样品室的上下电子束通道各设了一个真空阀,用以在更换样品时切断电子束通道 ,只破坏样品室内的真空,而不影响整个镜筒内的真空,这样在更换样品后样品室重又抽回真空时,可节省许多时间。当样品室的真空度与镜筒内达到平衡时, 再重新开启与镜筒相通的真空阀。

2.物镜(object lens)

处于样品室下面,紧贴样品台,是电镜中的第1个成像元件,在物镜上产生哪怕是极微小的误差,都会经过多级高倍率放大而明显地暴露出来,所以这是电镜的一个最重要部件,决定了一台电镜的分辨本领,可看作是电镜的心脏。

(1)特点 物镜是一块强磁透镜,焦距很短,对材料的质地纯度、加工精度、使用中污染的状况等工作条件都要求极高。致力于提高一台电镜的分辨率指标的核心问题,便是对物镜的性能设计和工艺制作的综合考核。尽可能地使之焦距短、像差小,又希望其空间大,便于样品操作,但这中间存在着不少相互矛盾的环节。

(2)作用 进行初步成像放大,改变物镜的工作电流,可以起到调节焦距的作用。电镜操作面板上粗、细调焦旋扭,即为改变物镜工作电流之用。

为满足物镜的前述要求,不仅要将样品台设计在物镜内部,以缩短物镜焦距;还要配置良好的冷却水管,以降低物镜电流的热飘移;此外,还装有提高成像反差的可调活动光阑,及其要达到高分辨率的消像散器。对于高性能的电子显微镜,都通过物镜装有以液氮为媒质的防污染冷阱,给样品降温。

3.中间镜和投影镜

中间镜(intemediate lens)和投影镜(projection lens)

在物镜下方,依次设有中间镜和第1投影镜、第2投影镜,以共同完成对物镜成像的进一步放大任务。从结构上看,它们都是相类似的电磁透镜,但由于各自的位置和作用不尽相同,故其工作参数、励磁电流和焦距的长短也不相同。电镜总放大率:M=MO·MI·MP1·MP2。即为物镜、中间镜和投影镜的各自放大率之积。当电镜放大率在使用中需要变换时,就必须使它们的焦距长短相应做出变化,通常是改变靠中间镜和第1投影镜线圈的励磁工作电流来达到的。电镜操纵面板上放大率变换钮即为控制中间镜和投影镜的电流之用。

对中间镜和投影镜这类放大成像透镜的主要要求是:在尽可能缩短镜筒高度的条件下,得到满足高分辨率所需的最高放大率,以及为寻找合适视野所需的最低放大率;可以进行电子衍射像分析,做选区衍射和小角度衍射等特殊观察;同样也希望它们的像差、畸变和轴上像散都尽可能地小。

四、观察记录系统

1.观察室

透射电镜的最终成像结果,显现在观察室内的荧光屏上,观察室处于投影镜下,空间较大,开有1~3个铅玻璃窗,可供操作者从外部观察分析用。对铅玻璃的要求是既有良好的透光特性,又能阻断X线散射和其他有害射线的逸出,还要能可靠地耐受极高的压力差以隔离真空。

由于电子束的成像波长太短,不能被人的眼睛直接观察,电镜中采用了涂有荧光物质的荧光屏板把接收到的电子影像转换成可见光的影像。观察者需要在荧光屏上对电子显微影像 进行选区和聚焦等调整与观察分析,这要求荧光屏的发光效率高,光谱和余辉适当,分辨力好。多采用能发黄绿色光的硫化锌-镉类荧光粉做为涂布材料,直径约在15~20cm。

荧光屏的中心部分为一直径约10cm的圆形活动荧光屏板,平放时与外周荧屏吻合,可以进行大面积观察。使用外部操纵手柄可将活动荧屏拉起,斜放在45°角位置,此时可用电镜置配的双目放大镜,在观察室外部通过玻璃窗来精确聚焦或细致分析影像结构;而活动荧光屏完全直立竖起时能让电子影像通过,照射在下面的感光胶片上进行曝光。

2.照相室

在观察中电子束长时间轰击生物医学样品标本,必会使样品污染或损伤。所以对有诊断分析价值的区域,若想长久地观察分析和反复使用电镜成像结果,应该尽快把它保留下来,将因为电子束轰击生物医学样品造成的污染或损伤降低到最小。此外,荧光屏上的粉质颗粒的解像力还不够高,尚不能充分反映出电镜成像的分辨本领。将影像记录存储在胶片上照相,便解决了这些问题。

照相室处在镜筒的最下部,内有送片盒(用于储存未曝光底片)和接收盒(用于收存已曝光底片)及一套胶片传输机构。电镜生产的厂家、机型不同,片盒的储片数目也不相同,一般在20~50片/盒左右,底片尺寸日本多采用82.5mm×118mm,美国常用82.5mm×101.6mm,而欧州则用90mm×120mm。每张底片都由特制的一个不锈钢底片夹夹持,叠放在片盒内。工作时由输片机构相继有序地推放底片夹到荧光屏下方电子束成像的位置上。曝光控制有手控和自控两种方法,快门启动装置通常并联在活动荧光屏板的扳手柄上。电子束流的大小可由探测器检测,给操作者以曝光指示;或者应用全自动曝光模式由计算机控制,按程序选择曝光亮度和最佳曝光时间完成影像的拍摄记录。

现代电镜都可以在底片上打印出每张照片拍摄时的工作参数,如:加速电压值、放大率 、微米标尺、简要文字说明、成像日期、底片序列号及操作者注解等备查的记录参数。观察室与照相室之间有真空隔离阀。以便在更换底片时,只打开照相室而不影响整个镜筒的真空。

3.阴极射线管(CRT)显示器

电镜的操作面板上的CRT显示器主要用于电镜总体工作状态的显示、操作键盘的输入内容显示、计算机与操作者之间的人机对话交流提示以及电镜维修调整过程中的程序提示、故障警示等。

五、真空系统

电镜镜筒内的电子束通道对真空度要求很高,电镜工作必须保持在10-3~10Pa以上的真空度(高性能的电镜对真空度的要求更达10Pa以上),因为镜筒中的残留气体分子如果与高速电子碰撞,就会产生电离放电和散射电子,从而引起电子束不稳定,增加像差,污染样品,并且残留气体将加速高热灯丝的氧化,缩短灯丝寿命。获得高真空是由各种真空泵来共同配合抽取的。

1.机械泵(旋转泵)

机械泵因在其他场合使用非常广泛而比较常见,它工作时是靠泵体内的旋转叶轮刮片将空气吸入、压缩、排放到外界的。机械泵的抽气速度每分钟仅为160L左右 ,工作能力也只能达到0.1~0.01Pa,远不能满足电镜镜筒对真空度的要求,所以机械泵只做为真空系统的前级泵来使用。

2.油扩散泵

扩散泵的工作原理是用电炉将特种扩散泵油加热至蒸汽 状态,高温油蒸汽膨涨向上升起,靠油蒸汽吸附电镜镜体内的气体,从喷嘴朝着扩散泵内壁射出,在环绕扩散泵外壁的冷却水的强制降温下,油蒸汽冷却成液体时析出气体排至泵外,由机械泵抽走气体,油蒸汽冷却成液体后靠重力回落到加热电炉上的油槽里循环使用。扩散泵的抽气速度很快,约为每秒钟570L左右,工作能力也较强,可达10~10Pa。但它只能在气体分子较稀薄时使用,这是由于氧气成分较多时易 使高温油蒸气燃烧,所以扩散泵通常与机械泵串联使用,在机械泵将镜筒真空度抽到一定程度时,才启动扩散泵。

近年电镜厂商在制作中为实现超高压、超高分辨率,必须满足超高真空度的要求,为此在电镜的真空系统中又推出了离子泵和涡轮分子泵,把它们与前述的机械泵和油扩散泵联用可以达到10Pa的超高真空度水平。

六、调校系统

1.消像散器

像散(指轴上像散)的产生除了前面介绍的材质、加工精度等原因以外,实际上在使用过程中,会因为各部件的疲劳损耗、真空油脂的扩散沉积、以及生物医学样品中的有机物在电子束照射下的热蒸发污染等众多因素逐渐积累,使得像散也在不断变化。所以像散的消除在电镜制造和应用之中都成了必不可少的重要技术。

早期电镜中曾采用过机械式消像散器,利用手动机械装置来调整电磁透镜周围的小磁铁 组成的消像散器,来改变透镜磁场分布的缺陷。但由于调整的精确性和使用的方便性均难令人满意,这种方式已被淘汰。消像散器由围绕光轴对称环状均匀分布的8个小电磁线圈构成,用以消除(或减小)电磁透镜因材料、加工、污染等因素造成的像散。其中每4个互相垂直的线圈为1组,在任一直径方向上的2个线圈产生的磁场方向相反,用2组控制电路来分别调节这2组线圈中的直流电流的大小和方向,即能产生1个强度和方向可变的合成磁场,以补偿透镜中所原有的不均匀磁场缺陷(图中椭圆形实线),以达到消除或降低轴上像散的效果。

一般电镜在第2聚光镜中和物镜中各装有2组消像器,称为聚光镜消像散器和物镜消像散器。聚光镜产生的像散可从电子束斑的椭圆度上看出,它会造成成像面上亮度不均匀和限制分辨率的提高。调整聚光镜消像散器(镜体操作面板上装有对应可调旋钮),使椭圆形光斑恢复到最接近圆状即可基本上消除聚光镜中存在的像散。

物镜像散能在很大程度上影响成像质量,消除起来也比较困难。通常使用放大镜观察样品支持膜上小孔在欠焦时产生的费涅尔圆环的均匀度,或者使用专门的消像散特制标本来调整消除,这需要一定的经验和操作技巧。在一些高档电镜机型之中,开始出现了自动消像散和自动聚焦等新功能,为电镜的使用和操作提供了极大的方便。

2.束取向调整器及合轴

最理想的电镜工作状态,应该是使电子枪、各级透镜与荧光屏中心的轴线绝对重合。但这是很难达到的,它们的空间几何位置多多少少会存在着一些偏差,轻者使电子束的运行发生偏离和倾斜,影响分辨力;稍微严重时会使电镜无法成像甚至不能出光(电子束严重偏离中轴,不能射及荧光屏面)。为此电镜采取的对应弥补调整方法为机械合轴加电气合轴的操作。
机械合轴是整个合轴操作的先行步骤,通过逐级调节电子枪及各透镜的定位螺丝,来形成共同的中心轴线。这种调节方法很难达到十分精细的程度,只能较为粗略地调整,然后再辅之以电气合轴补偿。

电气合轴是使用束取向调整器的作用来完成的,它能使照明系统产生的电子束做平行移动和倾斜移动,以对准成像系统的中心轴线。束取向调整器分枪(电子枪)平移、倾斜和束(电子束)平移、倾斜线圈两部分。前者用以调整电子枪发射出电子束的水平位置和倾斜角度;后者用以对聚光镜通道中电子束的调整。均为在照明光路中加装的小型电磁线圈,改变线圈产生的磁场强度和方向,可以推动电子束做细微的移位动作。

合轴的操作较为复杂,不过在合轴操作完成后,一般不需经常调整。只是束平移调节作为一 个经常调动的旋钮,放在电镜的操作面板上,供操作者在改变某些工作状态(如放大率变换)后,将偏移了的电子束亮斑中心拉回荧光屏的中心,此调节器旋钮也称为“亮度对中”钮。

3.光阑

如前所述,为限制电子束的散射,更有效地利用近轴光线,消除球差、提高成像质量和反差 ,电镜光学通道上多处加有光阑,以遮挡旁轴光线及散射光。

光阑有固定光阑和活动光阑2种,固定光阑为管状无磁金属物,嵌入透镜中心,操作者无法调整(如聚光镜固定光阑)。活动光阑是用长条状无磁性金属钼薄片制成,上面纵向等距离排列有几个大小不同的光阑孔,直径从数十到数百个微米不等,以供选择使用。活动光阑钼片被安装在调节手柄的前端,处于光路的中心,手柄端在镜体的外部。活动光阑手柄整体的中部,嵌有“O”形橡胶圈来隔离镜体内外部的真空。可供调节用的手柄上标有1、2、3、4号定位标记,号数越大,所选的就孔径越小。光阑孔要求很圆而且光滑,并能在 X、Y方向上的平面里做几何位置移动,使光阑孔精确地处于光路轴心。因此,活动光阑的调节手柄,应能让操作者在镜体外部方便地选择光阑孔径,调整、移动活动光阑在光路上的空间几何位置。

电镜上常设3个活动光阑供操作者变换选用:①聚光镜C2光阑,孔径约在20~200μm左右,用于改变照射孔径角,避免大面积照射对样品产生不必要的热损伤。光阑孔的变换会影响光束斑点的大小和照明亮度;②物镜光阑,能显著改变成像反差。孔径约在10~100μm 左右,光阑孔越小,反差就越大,亮度和视场也越小(低倍观察时才能看到视场的变化)。若选择的物镜光阑孔径太小时,虽能提高影像反差,但会因电子线衍射增大而影响分辨能力,且易受到照射污染。如果真空油脂等非导电杂质沉积在上面,就可能在电子束的轰击下充放电,形成的小电场会干扰电子束成像,引起像散,所以物镜光阑孔径的选择也应适当;③中间镜光阑,也称选区衍射光阑,孔径约在50~400μm左右,应用于衍射成像等特殊的观察之中。

仪器组件


电子枪:发射电子,由阴极、栅极、阳极组成。阴极管发射的电子通过栅极上的小孔形成射线束,经阳极电压加速后射向聚光镜,起到对电子束加速、加压的作用。
聚光镜:将电子束聚集,可用已控制照明强度和孔径角。
样品室:放置待观察的样品,并装有倾转台,用以改变试样的角度,还有装配加热、冷却等设备。
物镜:为放大率很高的短距透镜,作用是放大电子像。物镜是决定透射电子显微镜分辨能力和成像质量的关键。
中间镜:为可变倍的弱透镜,作用是对电子像进行二次放大。通过调节中间镜的电流,可选择物体的像或电子衍射图来进行放大。
透射镜:为高倍的强透镜,用来放大中间像后在荧光屏上成像。
此外还有二级真空泵来对样品室抽真空、照相装置用以记录影像。

成像方式


电子束穿过样品时会携带有样品的信息,TEM的成像设备使用这些信息来成像。投射透镜将处于正确位置的电子波分布投射在观察系统上。观察到的图像强度依赖于电子波的幅度,同时也依赖于电子波的相位。虽然在电子波幅度较低的时候相位的影响可以忽略不计,但是相位信息仍然非常重要。高分辨率的图像要求样品尽量的薄,电子束的能量尽量的高。因此可以认为电子不会被样品吸收,样品也就无法改变电子波的振幅。由于在这种情况下样品仅仅对波的相位造成影响,这样的样品被称作纯相位物体。纯相位物体对波相位的影响远远超过对波振幅的影响,因此需要复杂的分析来得到观察到的图像强度。例如,为了增加图像的对比度,TEM需要稍稍离开聚焦位置一点。这是由于如果样品不是一个相位物体,和TEM的对比度传输函数卷积以后将会降低图像的对比度。

对比度信息

TEM中的对比度信息与操作的模式关系很大。复杂的成像技术通过改变透镜的强度或取消一个透镜等等构成了许多的操作模式。这些模式可以用于获得研究人员所关注的特别信息。

亮场

TEM最常见的操作模式是亮场成像模式。在这一模式中,经典的对比度信息根据样品对电子束的吸收所获得。样品中较厚的区域或者含有原子数较多的区域对电子吸收较多,于是在图像上显得比较暗,而对电子吸收较小的区域看起来就比较亮,这也是亮场这一术语的来历。图像可以认为是样品沿光轴方向上的二维投影,而且可以使用比尔定律来近似。对亮场模式的更复杂的分析需要考虑到电子波穿过样品时的相位信息。

衍射对比度

由于电子束射入样品时会发生布拉格散射,样品的衍射对比度信息会由电子束携带出来。例如晶体样品会将电子束散射至后焦平面上离散的点上。通过将光圈放置在后焦平面上,可以选择合适的反射电子束以观察到需要的布拉格散射的图像。通常仅有非常少的样品造成的电子衍射会投影在成像设备上。如果选择的反射电子束不包括位于透镜焦点的未散射电子束,那么在图像上没有样品散射电子束的位置上,也就是没有样品的区域将会是暗的。这样的图像被称为暗场图像。

现代的TEM经常装备有允许操作人员将样品倾斜一定角度的夹具,以获得特定的衍射条件,而光圈也放在样品的上方以允许用户选择能够以合适的角度进入样品的电子束。

这种成像方式可以用来研究晶体的晶格缺陷。通过认真的选择样品的方向,不仅能够确定晶体缺陷的位置,也能确定缺陷的类型。如果样品某一特定的晶平面仅比最强的衍射角小一点点,任何晶平面缺陷将会产生非常强的对比度变化。然而原子的位错缺陷不会改变布拉格散射角,因此也就不会产生很强的对比度。

电子能量损失 

通过使用采用电子能量损失光谱学这种先进技术的光谱仪,适当的电子可以根据他们的电压被分离出来。这些设备允许选择具有特定能量的电子,由于电子带有的电荷相同,特定能量也就意味着特定的电压。这样,这些特定能量的电子可以与样品发生特定的影响。例如,样品中不同的元素可以导致射出样品的电子能量不同。这种效应通常会导致色散,然而这种效应可以用来产生元素成分的信息图像,根据原子的电子-电子作用。

电子能量损失光谱仪通常在光谱模式和图像模式上操作,这样就可以隔离或者排除特定的散射电子束。由于在许多图像中,非弹性散射电子束包含了许多操作者不关心的信息,从而降低了有用信息的可观测性。这样,电子能量损失光谱学技术可以通过排除不需要的电子束有效提高亮场观测图像与暗场观测图像的对比度。

相衬技术 

晶体结构可以通过高分辨率透射电子显微镜来研究,这种技术也被称为相衬显微技术。当使用场发射电子源的时候,观测图像通过由电子与样品相互作用导致的电子波相位的差别重构得出。然而由于图像还依赖于射在屏幕上的电子的数量,对相衬图像的识别更加复杂。然而,这种成像方法的优势在于可以提供有关样品的更多信息。

衍射模式 
 
如前所述,通过调整磁透镜使得成像的光圈处于透镜的后焦平面处而不是像平面上,就会产生衍射图样。对于单晶体样品,衍射图样表现为一组排列规则的点,对于多晶或无定形固体将会产生一组圆环。对于单晶体,衍射图样与电子束照射在样品的方向以及样品的原子结构有关。通常仅仅根据衍射图样上的点的位置与观测图像的对称性就可以分析出晶体样品的空间群信息以及样品晶体方向与电子束通路的方向的相对关系。

衍射图样的动态范围通常非常大。对于晶体样品,这个动态范围通常超出了CCD所能记录的最大范围。因此TEM通常装备有胶卷暗盒以记录这些图像。

对衍射图样点对点的分析非常复杂,这是由于图像与样品的厚度和方向、物镜的失焦、球面像差和色差等等因素都有非常密切的关系。尽管可以对格点图像对比度进行定量的解释,然而分析本质上非常复杂,需要大量的计算机仿真来计算。

衍射平面还有更加复杂的表现,例如晶体格点的多次衍射造成的菊池线。在会聚电子束衍射技术中,会聚电子束在样品表面形成一个极细的探针,从而产生了不平行的会聚波前,而汇聚电子束与样品的作用可以提供样品结构以外的信息,例如样品的厚度等等。

一般操作步骤


1. 抽真空

接通总电源,打开冷却水,接通抽真空开关,真空系统就自动的抽真空。一般经 15~2 0 m i n 后,真空度即可达到 10-4~ 10-5 T o r r,持高真空指示灯亮后即可上机工作。

2. 加电子枪高压

接通镜筒内的电源,给电子枪和透镜供电,由低至高速级给电子枪加高压,直至所需值。

3. 更换样品

通常在电子枪加高压而关断灯丝电源的条件下置换样品。取出样品时,首先打开过渡室和样品空间的空气锁紧阀门,向外拉样品杆,然后将过渡室放气,最终拉出样品杆,从样品座中取出样品。换上所需观察的样品,必须将样品钢网牢固地突持在样品杆的样品座中,然后将样品杆插入过渡室,抽过渡室低真空并使其达到真空度要求,打开过渡室和样品空间的空气锁紧阀,将样品杆推进样品室。

4. 加灯丝电流并使电子束对中

顺时针方向转动灯丝电流钮,慢慢加大灯丝电流,注意电子束流表的指示和荧光屏亮度,当灯丝电流加大到一定值时,束流表的指示和荧光屏亮度不再增大,即达到灯丝电流馆和值。

5. 图象观察

当束流调到所需值后,最终推进样品杆,用样品平移传动装置把样品座调到观察位置,即可进行图象观察。首先在低倍下观察,选择感兴趣的视场,并将其移到荧屏中心,然后调节中间镜电流确定放六倍数,调节物镜电流使荧光屏上的图象聚焦至最清晰。

6. 照相记录

当荧光屏上的图象聚.焦至最清晰时,便可进行照相记录。调节图象亮度和相应的暖个时间。当二者配匹得当(曝光表上绿灯亮时),拉开曝光快门,将荧光屏翻起,让携带样品信息的电子束照射到胶片上使其感光,正常曝光时间以4~8S 为宜。

7. 停机

顺序地关断灯丝电源、关断高压、镜筒内的电源、关断抽真空开关、约30min 后关断总电源和冷却水。
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透射电子显微镜(透射电镜、TEM)

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    冷场发射透射电镜
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    冷场发射透射电镜

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    冷场发射球差校正透射电镜

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    120kV高衬度透射电子显微镜

    120kV高衬度透射电子显微镜

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    JEOL JEM-2800 高通量场发射透射电子显微镜

    JEOL JEM-2800 高通量场发射透射电子显微镜

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    JEOL JEM-2100Plus 200kV六硼化镧透射电子显微镜

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    能量过滤场发射透射电镜

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    日立200kV球差校正透射电镜HF5000
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    日立200kV球差校正透射电镜HF5000

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    【Hitachi】日立透射电镜HT7700

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    美国Delong LVEM5 台式透射电子显微镜

    美国Delong LVEM5 台式透射电子显微镜

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    【Hitachi】日立透射电镜HT7700 Exalens

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    日立高新透射电子显微镜HT7700

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    Delong LVEM25 小型低电压透射电子显微镜

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    日本电子 JSM-7001F扫描电子显微镜

    日本电子 JSM-7001F扫描电子显微镜

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    【Hitachi】H-9500原位分析透射电子显微镜

    【Hitachi】H-9500原位分析透射电子显微镜

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    PicoFemto 透射电镜电学测量样品杆

    PicoFemto 透射电镜电学测量样品杆

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    FEI Talos 透射电镜

    FEI Talos 透射电镜

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    200kV场发射透射电子显微镜

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    DELONG LVEM5 台式透射电镜

    DELONG LVEM5 台式透射电镜

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    原子分辨分析型透射电镜

    原子分辨分析型透射电镜

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    PicoFemto 透射电镜力-电一体测量样品杆

    PicoFemto 透射电镜力-电一体测量样品杆

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    PicoFemto 透射电镜TEM 加热样品杆

    PicoFemto 透射电镜TEM 加热样品杆

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    Titan Krios G2透射电子显微镜

    Titan Krios G2透射电子显微镜

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    Talos 透射电镜

    Talos 透射电镜

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  24. 比一比
    CAMECA 三维原子探针

    CAMECA 三维原子探针

    1. 会员等级:仪信通铜牌会员
    2. 产品完整度:(15)
    3. 信用积分:1534
    品牌:Cameca 型号:LEAP 5000 产地:美国
    资料: 暂无 解决方案: 暂无 典型用户: 暂无
    参考报价: 4500万-5000万 0条评论 3I指数
    CAMECA SAS
    400-860-5168转2751
    信用积分:1534
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  25. 比一比
    ORIONTM氦离子显微镜

    ORIONTM氦离子显微镜

    1. 会员等级:仪信通银牌会员
    2. 产品完整度:(10)
    3. 信用积分:301
    品牌:蔡司 型号:ORION™ 产地:德国
    资料: 暂无 解决方案: 暂无 典型用户: 暂无
    参考报价: 面议 0条评论 3I指数
    卡尔蔡司(上海)管理有限公司
    400-860-5168转1532
    信用积分:301
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  26. 比一比
    透射电镜(TEM)用氮化硅薄膜窗口

    透射电镜(TEM)用氮化硅薄膜窗口

    1. 会员等级:仪信通银牌会员
    2. 产品完整度:(9)
    3. 信用积分:2132
    品牌:-- 型号:TEM-SN 产地:美国
    资料: 暂无 解决方案: 2篇 典型用户: 暂无
    参考报价: 面议 0条评论 3I指数
    上海纳腾仪器有限公司
    400-860-5168转1679
    信用积分:2132
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2017/5/26 1:45:19
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